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Total 3 articles [ 키워드: Interconnection ] |
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Korean Chemical Engineering Research, 59 (4), pp.632-638 (2021) 아민과 카르복실산이 함유된 수계용액의 구리 배선 공정의 세정특성 Cleaning Behavior of Aqueous Solution Containing Amine or Carboxylic Acid in Cu-interconnection Process 고천광, 이원규 |
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Korean Chemical Engineering Research, 52 (1), pp.26-39 (2014) 반도체 소자용 구리 배선 형성을 위한 전해 도금 Electrodeposition for the Fabrication of Copper Interconnection in Semiconductor Devices 김명준, 김재정 |
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Korean Chemical Engineering Research, 47 (2), pp.141-149 (2009) 구리 및 은 금속 배선을 위한 전기화학적 공정 Electrochemical Metallization Processes for Copper and Silver Metal Interconnection 권오중, 조성기, 김재정 |
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