제1회 반도체산업 기술교류 심포지엄

(1st Symposium on Chemical Engineering –based Semiconductor Technology)

주 관: 반도체산업위원회

제주국제컨벤션센터 F발표장(삼다홀A) 2024년 4월 26일(금), 09:00~11:00, 14:00~17:00

Chair: 한재현, 성균관대학교 / 김오현, 에어리퀴드 / 김지현, 서울대학교

09:00 Opening remarks 

           한재현, 성균관대학교

09:10 [Keynote Lecture] 도쿄일렉트론의 차세대기술개발 동향 

           박영우, 도쿄일렉트론코리아

09:45 [Keynote Lecture] Advanced package technology trend 

           윤민승, Lam Research Korea

10:20 [Keynote Lecture] 반도체 디바이스 변화에 따른 CVD 장비의 개발 동향 

           김 민, 원익IPS 

14:00 [Keynote Lecture] 반도체 공정과 화학공학

           유현규, UP케미칼

14:35 [Keynote Lecture] Big Challenges for Small World 

           박성준, 삼성전자

15:10 [Keynote Lecture] 반도체 패키지 기술동향 및 소재 개발방향 

           고영관, 삼성전자 

15:45 [Keynote Lecture] The development and future of HARC etch technology for VNAND 

           민재호, 삼성전자

16:20 [Keynote Lecture] 첨단 노드 반도체를 위한 MoO₂Cl₂의 상용화 사례 

           김오현, Air Liquide