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캐스팅법에 의한 태양전지용 다결정 규소박판의 제조(II)-저항가열 및 유도가열 방식에 의한 실험적 고찰-
The Casting Method for Producing Solar-Grade Polycrystalline Silicon Wafer(II)-An Experimental study by the Resistance Heating Method and the R.F. Heating Method-
HWAHAK KONGHAK, December 1989, 27(6), 823-832(10), NONE
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Abstract
도가니 물질로 흑연 및 석영을 사용하고 저항가열 및 고주파 유도가열 방식을 채택하여 캐스팅 장치를 설계 제장하였다. 또한 도가니 보호물질로 Si3N4 피복하여 이들에 대한 영향을 고찰하였다.
태양전지 효율을 결정하는 규소박판의 물성으로서 각각 제조된 규소박판의 순도, 결정구조, grain size, 결함농도 등 4가지 요소를 고찰한 결과 본 캐스팅법을 이용하여 고효율 태양전지용 다결정 규소박판을 제조하는 것이 기술적으로 용이하다고 판명되었다.
태양전지 효율을 결정하는 규소박판의 물성으로서 각각 제조된 규소박판의 순도, 결정구조, grain size, 결함농도 등 4가지 요소를 고찰한 결과 본 캐스팅법을 이용하여 고효율 태양전지용 다결정 규소박판을 제조하는 것이 기술적으로 용이하다고 판명되었다.
Two separate casting apparatuses were designed and fabricated using the resistance heating method and the RF heating method, respectively. Graphite and fused quartz were used as crucibles for the method, respective-ly. Their inner surfaces were coated with Si3N4 layer for the protection of the crucibles and the ingots. The impurity level, structure, grain size, and dislocation concentration of the polycrystalline silicon wafers which affect the efficiency of the solar cell were measured for each method and compared with the reference values published for high efficiency solar cells. The present casting method provided satisfactory results regardless of some difference in the physical properties de-pending on the methods adopted above.
